Andere profilometers

Er zijn nog andere soorten profilometers [14], b.v. profilometers gebaseerd op laser triangulatie en profilometers gebaseerd op de chromatische aberratie van wit licht. Bij laser triangulatie is de nauw- keurigheid beperkt tot 30 ^m in laterale richting en dus niet zo geschikt voor het opmeten van slag- hoedjes.

Voor het opmeten van onze data hebben we de AltiSurf 500 van Cotec^[6], die gebruik maakt van chromatische aberratie van wit licht, ter beschikking.

AltiSurf 500

Het toestel bevindt zich in een geklimatiseerde ruimte om de temperatuur constant te houden, aange- zien deze invloed heeft op de metingen. Het systeem bestaat uit een bron van wit licht, een lens, een spectrometer, een systeem voor signaalverwerking, samen met een gemotoriseerde stand en geschikte software voor beeldanalyse (zie Fig. 3.3). Het geeft nauwkeurige hoogte-informatie (met een theore- tische resolutie van 9 nanometer) weer met een mogelijkheid tot visuele evaluatie van de 3D-structuur van de huls of kogel.

Figuur 3.3: Het Altisurf 500-systeem: in de linkse figuur het toestel en in de rechtse figuur de spectrometer en de pc waarmee de beeldanalyse gebeurt.

De huls of kogel is vastgezet in een houder en wordt gescand door een vaste sensor. Metingen kunnen gebeuren langs een lijn of er kan een gebied opgegeven worden. De houder waarin de huls of kogel is vastgezet beweegt, via voorgeprogrammeerde stappen, onder de gerichte straal. De resolutie (zie Fig. 3.4) in de X- en Y-richtingen is wijzigbaar (van 0.5 tot 100^m), alsook de lengte (tot 10 cm) of het op te meten gebied (tot 10 op 10 cm). Zelf gebruiken wij meestal een resolutie van 1 tot 4 ^m.

De techniek gaat als volgt (met Fig. 3.5 als illustratie^[7]): een witte lichtbron (kwarts-halogeen) stuurt

Figuur 3.4: De softwarecomponent van AltiSurf 500.

een lichtbundel door een lens met sterke chromatische aberratie. Deze lens splitst de lichtgevende bundel op in monochromatische golflengten die terechtkomen op het te analyseren punt van het op- pervlak. Enkele gereflecteerde golflengtes worden opgevangen en doorgegeven aan de spectrometer waar ingebouwde software de golflengte met maximale intensiteit selecteert. Via deze golflengte kan men de relatieve hoogte bepalen van het te analyseren punt.

3.3